Tafelmaier Dünnschicht Technik GmbH Rosenheim Ion-Plating Coating


Herstellung

 1. Entwicklung der Beschichtung

Am Anfang steht immer die Entwicklung des Schichtdesigns, das sich aus bis zu ca. 100 Einzelschichten zusammensetzen kann. In enger Abstimmung mit dem Kunden wird das gewünschte Coating mittels firmeneigener Software berechnet. Nach erfolgter Freigabe durch den Kunden erhält die Beschichtung eine eindeutige Kennziffer. Mit diesem Code kann der Kunde selbst nach vielen Jahren die gleiche Beschichtung erneut bestellen oder sogar ändern.

 2. Substratauswahl und vorbereitende Reinigung

Als Substrate können fast alle Mineralglassorten und Kristalle verwendet werden. Für sehr aufwendige Schichtsysteme in IP-Technik ist allerdings nur eine beschränkte Auswahl geeignet, wie z. B. Quarzglas, Schott Borofloat®, D263, Saphir, Silizium, YAG, LiNbO3 oder ähnliche.

Für Beschichtungen in höchster Qualität ist eine absolut sorgfältige Reinigung der Substraoberflächen entscheidend. Hierzu kommt eine moderne Ultraschall-Reinigungsanlage zum Einsatz. Handelt es sich um empfindliche Glassorten oder um speziell geformte Substrate, so werden diese manuell gereinigt.

 3. Vorbereitung zur Beschichtung

Nach der Reinigung werden die Substrate in vorbereitete Bedampfungswerkzeuge eingelegt. In einer Flowbox und unter starkem Licht werden die Oberflächene einzeln visuell kontrolliert und gegebenenfalls aussortiert. Hohe Sauberkeitsanforderungen oder kleine Substrate erfordern dabei die Verwendung eines Stereomikroskops.

 4. Beschichtungsprozess

Im Anschluss an die Oberflächenkontrolle werden die Chargen in den Bedampfungsanlagen evakuiert und im Normalfall zusätzlich aufgeheizt. Wie bei den vorangegangenen Arbeitsschritten ist auch hier eine hohe Sauberkeit die Voraussetzung für gute Ergebnisse. Daher werden die Innenverkleidungen und die Bedampfungsquellen der Anlagen regelmäßig, teilweise sogar nach jeder Charge gereinigt. Der Beschichtungsprozess startet, wenn die Temperatur und das notwendige Vakuum erreicht sind; er dauert, je nach Schichtart, nur wenige Minuten (etwa bei Entspiegelungen) oder auch mehrere Stunden. Nach einer substratabhängigen Auskühlzeit werden die Anlagen wieder geflutet und für die nächste Charge vorbereitet.

 5. Endkontrolle und Messung

Nach der vollständigen Abkühlung werden die Substrate aus den Haltewerkzeugen genommen und dabei wieder einzeln visuell kontrolliert. Zusätzlich werden Tape- und Radiergummitests durchgeführt. Per Stereomikroskop (Zeiss) kann eine zusätzliche Oberflächeninspektion von Substrat und Beschichtung durchgeführt werden. Bei jeder Charge wird mindestens ein Testglas zur Kontrolle der optischen Eigenschaften mitbeschichtet. Bei engen Toleranzen in der Spezifikation ist eine komplette Messung der Charge notwendig.

Die Spektrometer von Perkin-Elmer vom Typ Lambda 900/950 ermöglichen eine hochgenaue Vermessung der Transmission oder der Reflexion unter verschiedenen Winkeln und Polarisationen im Wellenlängenbereich zwischen 0,19 µm und 3,2 µm.

Auf Wunsch erhält der Kunde zu jeder Charge ein Messprotokoll der Beschichtung. Alle Beschichtungen der Tafelmaier Dünnschicht-Technik sind grundsätzlich RoHS-konform (EG-Richtlinie 2002/95/EG).

 

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